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(주)아이에이치 하이테크
 
고속 5차원 센서(OIS)
6차원 센서
초고정도 3차원 측정기
 
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Tilt (ΘX-ΘY) Displacement (Z) Position (X-Y)
측정 범위 ±60min ±1.0㎜ ±0.5㎜
분해능 ※1 0.02min 0.2㎛ 0.5㎛
측정 거리(W.D) 80㎜
측정 속도 Analog : Shift between 500/10,000 times/sec
Digital : 50 times/sec
측정 대상물 Ø3mm 광학 평면 미러(반사율 80%이상 권장)
아날로그 출력 BNC단자 : ±5V 틸트(ΘX,ΘY), 변위(Z), 위치(X,Y)
[ND시 +10V]
디지털 출력 RS-232C규격
모니타 출력 NTSC규격의 BNC단자
전원 AC 100~240V 50/60Hz
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