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(주)아이에이치 하이테크
 
고속 5차원 센서(OIS)
6차원 센서
초고정도 3차원 측정기
 
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항목

초소형 틸트 센서

형식

TM-2070(광학 HEAD) / GP-2000(화상처리유니트)

측정대상물

광학평면(반사율 0.5%이상)

측정항목

TILT(θX,θY)

측정가능거리

0~110mm ±70min

0~170mm ±45min

0~250mm ±30min우측 그림 참조

측정방식

광학오토코리메타

측정범위

TILT(θX,θY)

±70分(원형범위)

Repeatability※1

1sec

Linearity※2

±0.25% of F.S.(±0.35min상당)

광원

파장

650±10nm

출력

Max 1mW(JIS C6802 2014 Class 2)

Beam size

φ1mm

소비전력

Max 15W

외형 크기(돌기부제외)

TM-2070:W38×D42×H18mm / GP-2000:W50×D55×H100mm

무게

TM-2070:0.1kg / GP-2000 0.3kg

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