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(주)아이에이치 하이테크
 
고속 5차원 센서(OIS)
6차원 센서
초고정도 3차원 측정기
 
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측정 대상물

전용 TARGET(FH-2312)

측정 항목

틸트(θX,θY)、변위(Z)、위치(X,Y)、

회전(θ)※1

측정 거리

90±0.5mm※2

측정 범위

틸트(θX,θY)

±60 min(원형범위)

변위(Z)

±1.0mm

위치(X,Y)

±0.5mm

회전(θ)

±90min

Resolution

틸트(θX、θY)

0.002 min

변위(Z)

0.06μm

위치(X,Y)

0.02μm

회전(θ)

0.01 min

Repeatabillity

※3

틸트(θX、θY)

0.03 min

변위(Z)

1.0μm

위치(X,Y)

0.5μm

회전(θ)

0.2 min

Linearity※4

틸트(θX、θY)

±0.17% of F.S.

변위(Z)

±0.44% of F.S.

위치(X,Y)

±0.6% of F.S.

회전(θ)

±0.3% of F.S.

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