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(주)아이에이치 하이테크
 
고속 5차원 센서(OIS)
6차원 센서
초고정도 3차원 측정기
 
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개 요
  • 변위와 틸트 센서를 일체화하여 적은 공간 차지, 비용 절감, 사용 Jig의 절감등이 가능.
  • 휴대폰용 카메라 모듈(VCM, 피에조), 스테핑 모터 검사에 최적
  • 변위(Z) 및 틸트(Θx , Θy)를 동시 측정
 
 
광학 센서 HT-8490
신호 처리 유니트 IP-8680-001 IP-8680A ※1
측정 거리(W.D) 80㎜
X, Y 틸트 측정 범위 ±90min
분해능 (디지털) 0.03min ※2
분해능 (아날로그) 0.15min ※3 -
Z 변위 측정 범위 ±4㎜
분해능 (디지털) 0.5㎛ ※2
분해능 (아날로그) 3.3㎛ ※3 -
디지털 데이터 출력 횟수 100회/초 50회/초
아날로그 데이터 출력 횟수 10,000회/초 -
변위 틸트 아날로그 출력 ±5V(ND시 : +10V) -

※1 KATSURA OPTO 측정 소프트 VSTS용 전류 드라이버탑재 신호 처리 유니트
※2 KATSURA OPTO 표준 대상물을 기준 거리로 하여 평균 횟수를 1회로 측정한 경우의 값
※3 KATSURA OPTO 표준 대상물을 기준 거리로 하여 측정한 값의 P-P를 환산한 값
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